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本实用新型公开了一种硅片承载器,涉及硅片加工生产领域,包括承载器本体,承载器本体包括若干对称设置的插片槽,插片槽上下贯通,插片槽底部设有可拆卸的长条形的缓冲垫,承载器本体位于同一侧插片槽的两侧面对称设有长条形的穿设孔,穿设孔设在插片槽的高度,承载器本体上靠近其中一个穿设孔设有收放轮,缓冲垫的一端收卷在收放轮上,另一端依次穿过穿设孔并固定。本实用新型大大降低了硅片的破损率,同时具有结构简单、使用和清理方便的优点。

1、根据权利要求1所述的硅片承载器,其特征在于:所述收放轮内部设有自动回卷构件。

2、根据权利要求1所述的硅片承载器,其特征在于:所述缓冲垫采用聚氨酯胶条,所述缓冲垫的截面形状为三角形且其顶角部位与硅片接触。

3、一种硅片承载器,包括承载器本体

所述承载器本体:包括若干对称设置的插片槽,其特征在于:所述插片槽上下贯通,所述插片槽底部设有可拆卸的长条形的缓冲垫,所述承载器本体位于同一侧插片槽的两侧面对称设有长条形的穿设孔,所述穿设孔设在插片槽的高度,所述承载器本体上靠近其中一个穿设孔设有收放轮,所述缓冲垫的一端收卷在收放轮上,另一端依次穿过所述穿设孔并固定。

4、根据权利要求1所述的硅片承载器,其特征在于:两个所述穿设孔处均设有紧固件,所述紧固件包括一对压片,两块所述压片的一端固定,另一端通过按扣可拆卸固定。